装置のセンサのデータなどから、実際に測っていないウエハの膜厚や寸法を統計モデルで予測する手法を何と呼ぶか。

正解：C. 仮想計測(バーチャルメトロロジー)

仮想計測は、処理中の装置の温度・圧力・電力などのセンサデータと、過去の計測結果との関係を機械学習などでモデル化し、計測していないウエハの結果を予測する手法です。全数を計測しなくても工程の状態を推定でき、異常の早期検出や制御に役立ちます。

• A. 破壊検査は試料を壊して調べる方法です。
• B. 外観検査は見た目の異常を調べる検査です。
• C. 正しい。センサデータから計測値を予測する手法です。