計測・分析

製造ラインの計測で、すべてのウエハやすべての点を測るのではなく、一部を選んで測ることが多い主な理由はどれか。

  1. Aすべてを測ると製品が壊れるため
  2. B計測装置は1日に1回しか使えないため
  3. C計測にも時間とコストがかかるため、工程のばらつきを把握できる範囲で抜き取って測る
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正解:C. 計測にも時間とコストがかかるため、工程のばらつきを把握できる範囲で抜き取って測る

計測には装置の時間とコストがかかり、すべてのウエハのすべての点を測ると生産の流れが遅くなります。そこで、工程のばらつきの性質に合わせて、ロットから何枚、ウエハ内の何点を測るかを決めた抜き取り(サンプリング)計画にもとづいて計測します。

  • A. 多くの計測は非破壊で、製品は壊れません。
  • B. 計測装置は連続して使えます。
  • C. 正しい。時間とコストを考えて抜き取って測ります。
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