シリコンに加わっている応力(ひずみ)を、局所的に非破壊で評価するのによく使われる分光法はどれか。

正解：A. ラマン分光法

ラマン分光法は、レーザー光を当てたときに格子振動とのやりとりで波長がわずかにずれた散乱光(ラマン散乱)を測ります。シリコンに応力がかかるとこのずれ(ラマンシフト)が変化するため、トランジスタのチャネルのひずみやパッケージの応力などを局所的に評価できます。

• A. 正しい。ラマンシフトから応力を評価します。
• B. 四探針法は抵抗率を測る方法です。
• C. C-V測定はMOS構造の容量を測る方法です。