製造ラインの中で、製品のウエハを工程の途中で計測して工程を監視する計測を何と呼ぶか。

正解：A. インライン計測

インライン計測は、製造ラインに組み込まれた計測装置で、製品のウエハの膜厚、寸法、重ね合わせ、欠陥などを工程の途中で測るものです。異常を早く見つけて、不良品が後工程に流れるのを防ぎます。製品を壊さない非破壊の方法が使われます。