電子線を当てたときの帯電の違いによる明るさの差を利用して、コンタクトの導通不良などを検出する検査はどれか。

正解：B. 電位コントラスト(ボルテージコントラスト)検査

電子線を当てると、基板などに電気的につながっているコンタクトは電荷が逃げて明るく(または暗く)見え、断線して浮いているものは帯電して違う明るさに見えます。この差を利用して、外見ではわからない導通不良を検出できます。