LSI의 고장 위치를 특정하기 위해 동작 중인 불량 부위에서 나오는 미약한 빛을 검출하는 해석 기법은?

정답: C. 에미션 현미경(발광 해석)

누설 전류가 흐르는 곳이나 핫 캐리어가 발생하는 트랜지스터에서는 아주 약한 근적외 빛이 나옵니다. 에미션 현미경은 이 빛을 고감도 카메라로 검출하여 동작 중인 칩 위의 고장 위치를 특정하는 기법입니다. 다층 배선 때문에 앞면이 가려져 있는 경우에는 실리콘이 적외선을 투과시키는 성질을 이용하여, 얇게 가공한 뒷면에서 관찰합니다. XRD는 결정을, TXRF는 표면 오염을 조사합니다.