계측과 분석
집속 이온빔(FIB) 장비의 주된 용도는?
- A미소 영역의 가공, 단면 시료 제작, 회로 수정
- B웨이퍼 전면의 막 두께 측정
- C웨이퍼 세정
정답과 해설 보기
정답: A. 미소 영역의 가공, 단면 시료 제작, 회로 수정
FIB는 갈륨 등의 이온을 가늘게 모아 시료에 쏘아, 원하는 위치를 나노미터 단위로 깎거나 원료 가스와 조합하여 백금이나 텅스텐 막을 증착할 수 있는 장비입니다. TEM용 박편 제작, 불량 부위의 단면 관찰, 시제품 칩의 배선을 끊고 다시 이어 붙이는 회로 수정 등에 사용됩니다. SEM과 일체형인 장비라면 깎으면서 관찰할 수 있습니다. 전면 막 두께 측정이나 세정은 하지 않습니다.