계측과 분석
SIMS(2차 이온 질량 분석법)에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A전자빔을 쏘아 발생하는 특성 X선으로 원소를 조사한다
- B빛의 반사율로 막 두께를 측정한다
- C1차 이온으로 시료를 깎으면서 나오는 2차 이온을 질량 분석하여 불순물의 깊이 방향 분포를 조사한다
정답과 해설 보기
정답: C. 1차 이온으로 시료를 깎으면서 나오는 2차 이온을 질량 분석하여 불순물의 깊이 방향 분포를 조사한다
SIMS는 세슘이나 산소의 1차 이온을 조사하여 시료 표면을 조금씩 스퍼터링하고, 방출된 2차 이온을 질량 분석합니다. 깎으면서 측정을 계속하면 불순물 농도의 깊이 방향 분포를 원소에 따라 ppb 수준의 높은 감도로 측정할 수 있습니다. 이온 주입이나 확산 평가에 자주 사용되지만, 시료를 깎기 때문에 파괴 분석입니다. 특성 X선으로 원소를 조사하는 것은 EDX이고, 반사율로 막 두께를 측정하는 것은 광학적 방법입니다.