포토리소그래피
설계한 레이아웃 중 노광이나 가공 시뮬레이션에서 패턴이 연결되거나 끊어지기 쉬울 것으로 예측되는 취약한 곳을 무엇이라고 하는가?
- A핫스팟
- B노치
- C다이싱 라인
정답과 해설 보기
정답: A. 핫스팟
핫스팟은 레이아웃 중에서 노광량이나 포커스의 변동에 대해 패턴이 단락(브리지)되거나 단선(핀치)되기 쉬운 곳입니다. 설계 규칙을 만족하고 있어도 주변 패턴과의 조합으로 생기는 경우가 있습니다. 리소그래피 시뮬레이션이나 패턴 대조(패턴 매칭)로 사전에 찾아내고, 레이아웃 수정, OPC 조정, 웨이퍼에서의 중점 검사로 대처합니다.
- A. 올바릅니다. 불량이 되기 쉬운 취약한 곳입니다.
- B. 노치는 웨이퍼 외주의 절단부입니다.
- C. 다이싱 라인은 칩을 잘라 나누는 선입니다.