リソグラフィ
誘導自己組織化(DSA)で、ブロック共重合体が自然につくる縞の周期を主に決めるものはどれか。
- Aブロック共重合体の分子の長さ(分子量)
- B露光装置の光の波長
- Cレジストを現像する時間
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正解：A. ブロック共重合体の分子の長さ(分子量)
ブロック共重合体は、性質の異なる2種類の高分子の鎖を端でつないだ材料で、熱処理をすると2つのブロックが分かれようとしながらも、つながっているため遠くまでは分離できず、分子の長さで決まる周期の模様をつくります。周期は分子量で調整でき、どこまで細かくできるかは、分離する強さを表すχパラメータに左右されます。誘導自己組織化(DSA)では、リソグラフィでつくったガイドで模様の位置と向きをそろえます。
- A. 正しい。分子の大きさが周期を決めます。
- B. 光の波長が決めるのはガイドの解像度で、縞の周期ではありません。
- C. 自己組織化の周期は現像の条件では決まりません。