リソグラフィ

EUV露光で使われる光の波長はどれか。

  1. A193 nm
  2. B248 nm
  3. C13.5 nm
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正解：C. 13.5 nm

EUV(極端紫外線)露光は波長13.5 nmの光を使います。この波長の光はほとんどの物質に吸収されるため、レンズではなく多層膜ミラーによる反射光学系を使い、装置内部を真空にします。193 nmはArF、248 nmはKrFエキシマレーザーの波長です。

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