EUV露光で、レジストから出るガス(アウトガス)が問題視されてきた主な理由はどれか。

正解：B. 真空中の光学系(ミラー)に付着して汚染し、反射率を下げるおそれがあるため

EUV露光は真空中で行われ、露光によってレジストから炭素を含むガスなどが放出されます。これが高価な多層膜ミラーの表面に付着して炭素汚染などを起こすと、反射率が下がって装置の性能が落ちます。そのため、EUV用のレジストはアウトガスの量が評価・管理されます。

• A. アウトガスで感度が上がることが問題なのではありません。
• B. 正しい。ミラーを汚染して反射率を下げるおそれがあります。
• C. ウエハを冷やすことが問題なのではありません。