微影
EUV曝光中成為問題的「眩光（flare）」，其主要原因下列何者正確？
- A因反射鏡表面的些微凹凸使光散射，導致光也到達原本應該是暗的部分
- B光阻燃燒
- C晶圓旋轉
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正確答案：A. 因反射鏡表面的些微凹凸使光散射，導致光也到達原本應該是暗的部分
由於EUV的波長非常短，即使反射鏡表面只有原子等級（約0.1 nm）的些微凹凸，光也會散射。散射的光會大範圍地到達原本應為暗處的部分（眩光），降低影像對比，成為尺寸變異的原因。眩光會隨周圍明亮部分的面積而改變，因此以OPC進行配合圖案密度的尺寸修正，並藉由反射鏡的超精密研磨加以抑制。
- A. 正確。原因是反射鏡的表面粗糙度所造成的散射光。
- B. 並不是光阻燃燒。
- C. 與晶圓旋轉無關。