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EUV 노광에서 문제가 되는 「플레어」의 주된 원인으로 올바른 것은?
- A거울 표면의 미세한 요철 때문에 빛이 산란되어 원래 어두워야 할 부분에도 빛이 닿는 것
- B레지스트가 타는 것
- C웨이퍼가 회전하는 것
정답과 해설 보기
정답: A. 거울 표면의 미세한 요철 때문에 빛이 산란되어 원래 어두워야 할 부분에도 빛이 닿는 것
EUV는 파장이 매우 짧기 때문에 거울 표면에 원자 수준(0.1 nm 정도)의 미세한 요철이 있어도 빛이 산란됩니다. 산란된 빛은 원래 어두워야 할 부분에도 넓은 범위로 닿아(플레어) 상의 콘트라스트를 낮추고 치수 편차의 원인이 됩니다. 플레어는 주변 밝은 부분의 면적에 따라 달라지므로, 패턴 밀도에 따른 치수 보정을 OPC로 수행하고 거울의 초정밀 연마로 억제합니다.
- A. 올바릅니다. 거울의 표면 거칠기에 의한 산란광이 원인입니다.
- B. 레지스트가 타는 것이 아닙니다.
- C. 웨이퍼의 회전은 관계가 없습니다.