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개구수(NA)가 매우 큰 액침 노광에서 빛의 편광을 고려해야 하게 되는 이유로 올바른 것은?
- A편광에 의해 빛의 파장이 바뀌기 때문
- B편광에 의해 레지스트의 두께가 바뀌기 때문
- C빛이 큰 각도로 입사하므로 편광 방향에 따라 간섭의 세기(상의 콘트라스트)가 달라지기 때문
정답과 해설 보기
정답: C. 빛이 큰 각도로 입사하므로 편광 방향에 따라 간섭의 세기(상의 콘트라스트)가 달라지기 때문
NA가 크면 웨이퍼에 입사하는 빛의 각도가 커집니다(NA 1.35에서는 물속에서 약 70°). 간섭하는 두 빛의 전기장이 종이면에 수직인 방향(TE 편광)이면 나란히 강하게 간섭하지만, 평행한 방향(TM 편광)에서는 각도가 클수록 서로 상쇄하는 성분이 늘어 상의 콘트라스트가 떨어집니다. 그래서 액침 노광에서는 선의 방향에 맞추어 TE 편광이 되도록 제어한 편광 조명이 사용됩니다.
- A. 편광으로 파장은 바뀌지 않습니다.
- B. 편광으로 레지스트의 두께는 바뀌지 않습니다.
- C. 올바릅니다. 큰 입사각에서는 편광에 따라 상의 콘트라스트가 달라집니다.