リソグラフィ

KrFエキシマレーザー露光で使われる光の波長はどれか。

  1. A約13.5 nm
  2. B約193 nm
  3. C約248 nm
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正解：C. 約248 nm

KrF(フッ化クリプトン)エキシマレーザーの波長は約248 nmで、1990年代後半から使われてきました。その後、より短い波長193 nmのArFエキシマレーザー、さらに13.5 nmのEUVへと短波長化が進みました。

  • A. 約13.5 nmはEUVの波長です。
  • B. 約193 nmはArFエキシマレーザーの波長です。
  • C. 正しい。KrFは約248 nmです。
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