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KrF 엑시머 레이저 노광에서 사용하는 빛의 파장은?

  1. A약 13.5 nm
  2. B약 193 nm
  3. C약 248 nm
정답과 해설 보기

정답: C. 약 248 nm

KrF(불화 크립톤) 엑시머 레이저의 파장은 약 248 nm이며, 0.25 µm 세대(1990년대 후반)부터 사용되어 화학 증폭형 레지스트와 함께 보급되었습니다. 엑시머 레이저는 희가스와 할로겐의 들뜬 상태 분자(엑시머)에서 강한 자외선을 내는 광원입니다. 이후 ArF(193 nm), EUV(13.5 nm)로 단파장화가 진행되었지만, KrF도 현재 정밀도가 그다지 필요하지 않은 층이나 메모리 일부에서 널리 사용됩니다.

  • A. 약 13.5 nm는 EUV의 파장입니다.
  • B. 약 193 nm는 ArF 엑시머 레이저의 파장입니다.
  • C. 올바릅니다. KrF는 약 248 nm입니다.
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