リソグラフィ
フォトマスクをつくるときに使う、石英ガラスの基板に遮光膜などをあらかじめ成膜した材料を何と呼ぶか。
- Aマスクブランクス
- Bウエハ
- Cペレット
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正解：A. マスクブランクス
マスクブランクスは、高純度の石英ガラス基板にクロムなどの遮光膜(EUV用では多層膜と吸収膜)を成膜し、レジストを塗った状態の材料です。これに電子ビームでパターンを描き、エッチングしてフォトマスクをつくります。日本企業が大きなシェアをもつ分野です。
- A. 正しい。マスクの元になる材料です。
- B. ウエハはデバイスをつくるシリコンの円板です。
- C. ペレットは粒状に成形した材料です。