露光の際に、前の工程でつくったパターンに次のパターンを正確に重ねるため、ウエハ上に設けておく目印を何と呼ぶか。

正解：A. アライメントマーク

アライメントマークは、ウエハ上のチップの外側(スクライブライン上など)につくっておく位置合わせ用のパターンです。露光装置はこれを光学的に検出して、ウエハの位置や回転、伸びを補正し、前の層のパターンに次の層を正確に重ねます。

• A. 正しい。位置合わせ用の目印です。
• B. ノッチはウエハの結晶方位を示す外周の切り欠きです。
• C. スクライブはチップを分けるための線(領域)で、マークそのものではありません。