リソグラフィ

微細化の指標として使われる「ハーフピッチ」の意味として正しいものはどれか。

  1. Aチップの一辺の長さの半分
  2. Bウエハの直径の半分
  3. C繰り返しパターンの線と間隔を合わせた周期(ピッチ)の半分
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正解：C. 繰り返しパターンの線と間隔を合わせた周期(ピッチ)の半分

線と間隔が繰り返すパターンでは、1本の線と1つの間隔を合わせた長さがピッチで、その半分がハーフピッチです。線幅と間隔が等しいパターンでは、ハーフピッチは線幅に等しくなります。メモリなどの微細化の指標として使われてきました。

  • A. チップの大きさとは関係ありません。
  • B. ウエハの大きさとは関係ありません。
  • C. 正しい。繰り返しパターンの周期の半分です。
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