リソグラフィ

EUV露光装置を事実上1社で供給している企業はどれか。

  1. AIntel(米国)
  2. BASML(オランダ)
  3. CTSMC(台湾)
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正解:B. ASML(オランダ)

EUV露光装置は、オランダのASMLが事実上ただ1社で開発・供給しています。光源、反射光学系、ステージなど高度な技術を結集した装置で、1台あたり数百億円規模の価格になります。TSMCやIntelは装置を購入して使う半導体メーカーです。

  • A. IntelはEUV装置を使う側の半導体メーカーです。
  • B. 正しい。ASMLが事実上ただ1社で供給しています。
  • C. TSMCはEUV装置を使う側のファウンドリです。
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