リソグラフィ

フォトレジストの説明として正しいものはどれか。

  1. Aウエハを固定するための接着剤
  2. B配線に使う金属
  3. C光が当たると性質が変わり、現像液に溶けやすくなったり溶けにくくなったりする感光性の材料
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正解：C. 光が当たると性質が変わり、現像液に溶けやすくなったり溶けにくくなったりする感光性の材料

フォトレジストは、光(露光)によって化学的な性質が変わる感光性の樹脂です。ポジ型は光が当たった部分が現像液に溶け、ネガ型は光が当たった部分が溶けずに残ります。これによりマスクのパターンを写し取ります。

  • A. 接着剤ではありません。
  • B. レジストは樹脂で、配線の金属ではありません。
  • C. 正しい。光で性質が変わる感光性の材料です。
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