포토리소그래피
포토레지스트에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A웨이퍼를 고정하기 위한 접착제
- B배선에 사용하는 금속
- C빛이 닿으면 성질이 변하여 현상액에 잘 녹게 되거나 잘 녹지 않게 되는 감광성 재료
정답과 해설 보기
정답: C. 빛이 닿으면 성질이 변하여 현상액에 잘 녹게 되거나 잘 녹지 않게 되는 감광성 재료
포토레지스트는 빛에 의해 화학적 성질이 변하는 감광성 수지로, 두께 수십 nm~수 µm로 도포합니다. 포지티브형은 빛이 닿은 부분이 현상액에 녹고, 네거티브형은 빛이 닿은 부분이 녹지 않고 남습니다. 패턴을 옮길 뿐 아니라 이후의 식각이나 이온 주입으로부터 하지를 보호하는 마스크 역할도 하므로, 해상성·감도·식각 내성을 모두 만족시키는 재료 설계가 중요하며, 일본 기업이 높은 점유율을 가진 분야입니다.
- A. 접착제가 아닙니다.
- B. 레지스트는 수지이며 배선용 금속이 아닙니다.
- C. 올바릅니다. 빛으로 성질이 변하는 감광성 재료입니다.