微影
關於光阻（photoresist）的說明，下列何者正確？
- A用來固定晶圓的黏著劑
- B用於配線的金屬
- C受光照射後性質會改變，變得容易溶解或不易溶解於顯影液的感光性材料
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正確答案：C. 受光照射後性質會改變，變得容易溶解或不易溶解於顯影液的感光性材料
光阻是因光而使化學性質改變的感光性樹脂，會塗佈成數十nm～數µm的厚度。正型是受光照射的部分溶於顯影液，負型則是受光照射的部分不溶解而留下來。它不只是轉印圖案，還兼具保護底層免受後續蝕刻與離子植入影響的遮罩角色，因此兼顧解析度、靈敏度與抗蝕刻性的材料設計很重要，日本企業在此領域擁有高市占率。
- A. 不是黏著劑。
- B. 光阻是樹脂，不是配線用的金屬。
- C. 正確。這是因光而改變性質的感光性材料。