リソグラフィ

水銀ランプのi線の波長はどれか。

  1. A365 nm
  2. B436 nm
  3. C193 nm
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正解：A. 365 nm

水銀ランプの光のうち、g線は436 nm、i線は365 nmです。i線の露光装置は、現在も微細さをそれほど必要としない層や、パワーデバイス、MEMSなどの製造で使われています。193 nmはArFエキシマレーザーの波長です。

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