リソグラフィ

ブロック共重合体が自然に規則正しい微細なパターンをつくる性質を利用するパターン形成技術はどれか。

  1. AOPC
  2. B誘導自己組織化(DSA)
  3. C原子層エッチング
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正解:B. 誘導自己組織化(DSA)

ブロック共重合体は、性質の異なる2種類の高分子がつながった材料で、分離しようとして数nm〜数十nmの規則的な縞や点の模様をつくります。DSAは、ガイドとなるパターンでその並び方を制御し、リソグラフィの解像限界より細かいパターンをつくる技術として研究されています。

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