EUV露光向けに開発が進む、金属酸化物を含むレジストの利点として正しいものはどれか。

正解：A. EUV光の吸収が大きく、薄い膜でもエッチング耐性が高い

金属を含むレジストは、有機物のレジストよりEUV光を多く吸収するため、少ない露光量で反応させられ、確率的なゆらぎの影響も減らせると期待されています。また、エッチング耐性が高く、薄い膜でマスクとして使えるため、微細なパターンの倒れも防ぎやすくなります。