ポジ型の化学増幅レジストを有機溶剤で現像し、露光していない部分を溶かす方法はどれか。

正解：C. ネガティブトーン現像(NTD)

ネガティブトーン現像では、ポジ型のレジストを使いながら、有機溶剤の現像液で露光していない部分を溶かし、露光した部分を残します。細い溝や小さな穴のパターンでは、明るい部分を少なくした方が像のコントラストがよくなるため、ArF液浸露光などで使われています。