半導体製造におけるリソグラフィの役割として正しいものはどれか。

正解：A. 回路のパターンを、光などを使ってウエハ上のレジストに写し取る

リソグラフィは、マスクに描かれた回路のパターンを、光(露光)を使ってウエハ上に塗ったレジストに写し取る工程です。写し取ったレジストのパターンをマスクにして、エッチングやイオン注入を行います。

• A. 正しい。パターンをレジストに写し取る工程です。
• B. 不純物を打ち込むのはイオン注入です。
• C. ウエハを削るのは研削やCMPの工程です。