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수은 램프의 i선 파장은?

  1. A365 nm
  2. B436 nm
  3. C193 nm
정답과 해설 보기

정답: A. 365 nm

수은 램프의 빛 가운데 g선은 436 nm, i선은 365 nm이며 h선(405 nm)도 있습니다. 1980년대에 g선, 1990년대 전반에 i선이 주류가 되어 0.35 µm 세대까지 최첨단을 맡았습니다. i선 노광 장비는 저렴하고 광원 수명도 길어서 지금도 그다지 미세하지 않아도 되는 층, 파워 디바이스, MEMS, 이미지 센서 일부, 패키지의 재배선 등에서 널리 쓰입니다. 193 nm는 ArF의 파장입니다.

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