LELE(リソ・エッチ・リソ・エッチ)方式のダブルパターニングで、特に厳しく求められるものはどれか。

正解：C. 1回目と2回目のパターンの重ね合わせ精度

LELEでは、細かいパターンを2つに分けて別々に露光・エッチングするため、2回目のパターンが1回目に対してずれると、パターンの間隔がそのまま変わってしまいます。そのため、非常に高い重ね合わせ精度が必要になります。スペーサーを使うSADPは自己整合的なため、この問題が小さくなります。