フォトマスク(レチクル)のパターンを描くために主に使われる装置はどれか。

正解：A. 電子線描画装置

フォトマスクのパターンは、細く絞った電子線をレジストに直接当てて描く電子線描画装置などでつくります。マスクを使わずに描けるため非常に細かいパターンを描けますが、描画に時間がかかるため、量産ではマスクを使った露光で一括して転写します。