포토리소그래피

포토마스크(레티클)의 패턴을 그리는 데 주로 사용되는 장비는?

  1. A전자선 묘화 장비
  2. B스테퍼
  3. CCMP 장비
정답과 해설 보기

정답: A. 전자선 묘화 장비

포토마스크의 패턴은 수 nm로 가늘게 모은 전자선을 마스크 위의 레지스트에 직접 쏘아 그리는 전자선 묘화 장비로 만듭니다. 마스크 없이 매우 미세한 패턴을 그릴 수 있지만 한 붓 그리기 방식이어서 1장에 십여 시간이 걸리기도 하므로, 양산에서는 마스크를 사용해 일괄 전사합니다. 첨단 마스크에서는 수십만 개의 전자빔을 동시에 사용하는 멀티빔 묘화 장비로 OPC나 곡선 패턴을 고속으로 그리고 있습니다.

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