Zeer zuivere giftige of brandbare gassen voor de halfgeleiderproductie, zoals silaan, arsine en fosfine. Worden onder strikt beheer geleverd.
Japanse benaming: 特殊材料ガス
“Speciale materiaalgassen (specialty gases)” komt voor in 2 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Milieu en veiligheid, Cleanroom en productieapparatuur.
Vakgebied: Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)
Antwoord: B. Ze worden in een afgezogen cilinderkast geplaatst en lekkage wordt met gasdetectoren bewaakt
Cilinders met speciale materiaalgassen worden opgeslagen in een continu afgezogen cilinderkast en lekkage wordt met gasdetectoren bewaakt. Bij detectie van een lek sluit automatisch een afsluiter en wordt alarm gegeven. Cilinders worden volgens de procedure vervangen door getraind personeel, waarbij de leidingen voor en na de wissel worden gepurged. Ze worden niet dicht bij het bureau van een operator geplaatst en niet gebruikt zonder aansluiting op leidingen.
Cilinders met speciale materiaalgassen worden opgeslagen in een continu afgezogen cilinderkast en lekkage wordt met gasdetectoren bewaakt.
Welke uitspraak over de gebruikelijke hantering van gascili…Afgassen van depositie- en etsapparatuur bevatten onverbruikte speciale materiaalgassen en schadelijke bijproducten.
Welk apparaat behandelt bij procesapparatuur die vacuüm geb…Numerieke apertuur (NA) FFU (fan filter unit) EFEM Arsine (AsH3) Fosfine (PH3) Massaflowcontroller (MFC) NF3 (stikstoftrifluoride) Precursor (voorloper) Silaan (SiH4) TMAH