Apparaat in depositie- en etsapparatuur dat de massastroom van gas nauwkeurig meet en op een ingestelde waarde constant houdt.
Japanse benaming: マスフローコントローラ(MFC)
“Massaflowcontroller (MFC)” komt voor in 2 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Procesmaterialen (gassen, chemicaliën).
Vakgebied: Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)
Antwoord: A. Massaflowcontroller (MFC)
Een massaflowcontroller is een apparaat dat met een sensor de massastroom van gas meet en met een ingebouwde klep op de ingestelde waarde houdt. Bij het gebruikelijke thermische type wordt de stroom bepaald uit het verschil in de warmte die het gas in een capillaire buis meevoert. Als eenheid voor de stroom wordt vaak sccm (cm³ per minuut onder standaardomstandigheden) gebruikt. Omdat afzettingssnelheid, laagsamenstelling en etsselectiviteit sterk met de stroom veranderen, wordt op elke gasleiding een MFC geplaatst.
Antwoord: B. Omdat de benodigde hoeveelheid zeer klein is en de stroom zo nauwkeuriger te regelen is, en om het risico van giftigheid en reactiviteit te verlagen
Omdat de toe te voegen hoeveelheid dopant zeer klein is, is de stroom van zuiver gas te klein om nauwkeurig met een massaflowcontroller te regelen. Verdund met waterstof of stikstof tot enkele procenten tot ppm-niveau kan de benodigde hoeveelheid nauwkeurig met een goed hanteerbare stroom worden toegevoerd. Verdunning verlaagt ook de concentratie bij lekkage en vermindert het gevaar van giftigheid en spontane ontbranding. Zuiver diboraan ontleedt zelfs bij kamertemperatuur geleidelijk, dus verdunning helpt ook voor de stabiliteit.
Een massaflowcontroller is een apparaat dat met een sensor de massastroom van gas meet en met een ingebouwde klep op de ingestelde waarde houdt.
Welk apparaat in afzet- en etsapparatuur meet de gasstroom …Omdat de toe te voegen hoeveelheid dopant zeer klein is, is de stroom van zuiver gas te klein om nauwkeurig met een massaflowcontroller te regelen.
Wat is de belangrijkste reden dat dopantgassen zoals dibora…Fosfine (PH3) Arsine (AsH3) NF3 (stikstoftrifluoride) Precursor (voorloper) Silaan (SiH4) Speciale materiaalgassen (specialty gases) TMAH Ultrapuur water (UPW)