Was ist Spezialgase (specialty gases)?

Hochreine, giftige oder brennbare Gase für die Halbleiterfertigung, etwa Silan, Arsin und Phosphin. Sie werden unter strenger Kontrolle zugeführt.

Japanische Bezeichnung: 特殊材料ガス

Fachgebiet: Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)