Welk apparaat behandelt bij procesapparatuur die vacuüm gebruikt het afgas met schadelijke stoffen uit de reacties per apparaat?

Antwoord: A. Afgasbehandelingsapparaat (lokale scrubber)

Afgassen van depositie- en etsapparatuur bevatten onverbruikte speciale materiaalgassen en schadelijke bijproducten. Een afgasbehandelingsapparaat maakt deze vlak bij de apparatuur onschadelijk door verbranding, thermische ontleding, plasmaontleding, adsorptie of wassen met water, voordat ze naar het afzuigsysteem van de hele fabriek gaan. Door ontvlambare gassen en producten die in leidingen stollen snel te behandelen, worden ook brand en verstopping van kanalen voorkomen. FFU en EFEM zijn voorzieningen voor reiniging en transport.