Wat is het belangrijkste gebruik van stikstoftrifluoride (NF3)?

Antwoord: C. Reiniging om aan de wand van de kamer van CVD-apparatuur afgezette lagen te verwijderen

Bij herhaalde CVD wordt ook op de binnenwand van de kamer een laag afgezet, die kan loskomen en deeltjes veroorzaakt. Met fluorradicalen uit door plasma ontlede NF3 worden deze afzettingen omgezet in vluchtige fluoriden en verwijderd. De remote-plasmamethode, waarbij het plasma buiten de kamer wordt gemaakt en alleen de radicalen worden toegevoerd, is gangbaar omdat daarmee schade aan onderdelen kan worden beperkt. Het aardopwarmingsvermogen van NF3 is groot, ca. 16.000 keer dat van CO2, dus het wordt in een afgasreiniger ontleed voordat het wordt uitgestoten.