Welke methode voor het reinigen van de CVD-kamer is toegepast met het oog op het verminderen van de PFC-uitstoot?

Antwoord: B. De remote-plasmamethode, waarbij NF3 buiten het apparaat met plasma wordt ontleed en met de gevormde fluorradicalen efficiënt wordt gereinigd

Vroeger werd de kamer gereinigd door PFC's zoals C2F6 in de kamer tot plasma te maken, maar een probleem was dat veel onafgebroken werd uitgestoten. Bij de remote-plasmamethode wordt NF3 buiten het apparaat met een hoge efficiëntie van 95 % of meer ontleed en worden alleen de fluorradicalen naar de kamer gestuurd, waardoor de uitstoot van broeikasgassen sterk afneemt en ook beschadiging van onderdelen van de kamer wordt beperkt. Het gebruik van C2F6 wordt niet verhoogd en reiniging wordt niet nagelaten.