Was ist FFU (Ventilator-Filter-Einheit)?
Einheit aus Ventilator und Hocheffizienzfilter. Felder davon in der Reinraumdecke blasen saubere Luft nach unten.
Japanische Bezeichnung: FFU(ファンフィルタユニット)
Fachgebiet: Reinräume und Anlagen
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