Welk apparaat in de luchtbehandeling van een cleanroom verwijdert stof uit de aangevoerde buitenlucht, regelt temperatuur en vochtigheid en voert die vervolgens toe aan de circulatielucht in de ruimte?

Antwoord: C. Buitenluchtbehandelingsunit (MAU)

Een cleanroom neemt buitenlucht aan voor het handhaven van overdruk en het aanvullen van afgezogen lucht, maar buitenlucht verandert met de seizoenen sterk in temperatuur en vochtigheid en bevat vuil. Gebruikelijk is de taakverdeling dat een buitenluchtbehandelingsunit stof verwijdert en temperatuur en vochtigheid constant houdt, terwijl in de ruimte de circulatielucht met FFU's wordt gereinigd en de temperatuur fijn wordt geregeld. Doordat het beheer van de vochtigheid in de MAU wordt gebundeld, is de regeling in de ruimte stabiel.