Nederlands
Menu

Wat is AMHS (automated material handling system)?

Verzamelnaam voor de apparatuur die wafeldragers zoals FOUP's in een halfgeleiderfabriek automatisch tussen apparaten en opslag verplaatst, en het besturingssysteem dat haar aanstuurt. Het bestaat uit OHT's, stockers en bijbehorende apparatuur.

Japanse benaming: AMHS(自動搬送システム)

“AMHS (automated material handling system)” komt voor in 4 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur, Opbrengst en kwaliteitsbeheersing.

Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur

Onderdelen van een AMHS

AMHS staat voor automated material handling system en verwijst naar het hele systeem dat wafeldragers in een fabriek automatisch vervoert en opslaat. In een 300 mm-fabriek bestaat het uit OHT-voertuigen die over plafondrails rijden en FOUP's op de laadpoorten van apparaten laten zakken, stockers, geautomatiseerde magazijnen waarin robots FOUP's opslaan en ophalen, buffers die FOUP's tijdelijk bij de rails bewaren, en liften die ze tussen verdiepingen verplaatsen. Een transportbesturingssysteem stuurt het geheel aan: het ontvangt transportverzoeken van het manufacturing execution system (MES) en wijst voertuigen en opslaglocaties toe.

Interbay- en intrabaytransport

Veel fabrieken gebruiken een indeling in bays, die elk apparaten van dezelfde soort groeperen. In een bay-indeling verbindt het interbaytransport verafgelegen bays via stockers en vergelijkbare apparatuur, terwijl het intrabaytransport de apparaten binnen een bay met elkaar en met de stockers verbindt. In 200 mm-fabrieken werd vaak alleen het interbaytransport geautomatiseerd en werden de loten binnen een bay met de hand gedragen. Omdat elke overdracht wachttijd toevoegt, gebruiken moderne 300 mm-fabrieken veel OHT's die beide in één systeem afhandelen en FOUP's rechtstreeks van apparaat naar apparaat vervoeren.

Waarom transport wordt geautomatiseerd

Een FOUP met 25 wafels van 300 mm weegt ongeveer 8 kg, een zware last om de hele dag te dragen, en een val kan dure wafels vernietigen. Een wafel doorloopt honderden processtappen tot hij klaar is en verplaatst zich bij elke stap tussen apparaten, zodat het aantal transporten zeer groot is. Automatisering vervoert FOUP's dag en nacht in een gelijkmatig tempo, laat de fabriek op elk moment weten waar elke FOUP zich bevindt en voorkomt fouten zoals levering aan het verkeerde apparaat. Minder rondlopende mensen verminderen ook de deeltjesverontreiniging.

Wat de prestaties bepaalt

In grote fabrieken rijden honderden of meer OHT-voertuigen over één railnetwerk, zodat opstoppingen en routekeuze de levertijd sterk beïnvloeden. Staat een apparaat stil omdat het op een FOUP wacht, dan daalt de capaciteit en groeit de tijd die wafels in de fabriek doorbrengen (cyclustijd). Fabrieken anticiperen daarom op transportverzoeken om voertuigen vooraf in te zetten, en plaatsen opslag dicht bij apparaten om wachttijden te verkorten. Bij het ontwerp van de fabriek wordt het transportvolume gesimuleerd om de railindeling, het aantal voertuigen en de opslagcapaciteit te bepalen. Redundantie, zodat een lokale storing niet het hele systeem stillegt, is ook belangrijk.

Nu oefenen: vragen over AMHS (automated material handling system)

Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde transportsysteem van een halfgeleiderfabriek slaat FOUP's tijdelijk op totdat ze naar de volgende processtap gaan?

  1. AStocker
  2. BEFEM
  3. CLuchtdouche
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Stocker

Een stocker is een geautomatiseerd magazijn met stellingen waarin robots FOUP's plaatsen en weghalen, en waarin onder meer FOUP's die op vrijkomende apparatuur wachten tijdelijk worden opgeslagen. Het binnenste is gevuld met schone lucht of stikstof en is verbonden met transportsystemen zoals de OHT, en volgens aanwijzingen van het productiebeheersysteem worden de benodigde FOUP's uitgegeven. Tegenwoordig worden ook kleine opslagrekken gebruikt, waarbij de ruimte onder het plafond wordt benut om FOUP's naast de rails te plaatsen.

Veelgestelde vragen

Waar staat AMHS voor?

Voor automated material handling system. In een halfgeleiderfabriek verwijst het gezamenlijk naar de OHT's die FOUP's vervoeren, de stockers die ze opslaan en het besturingssysteem dat ze aanstuurt.

Wat is het verschil tussen AMHS en OHT?

AMHS is de naam voor het hele transport- en opslagsysteem, en OHT is het plafondvoertuig daarbinnen dat de FOUP's daadwerkelijk vervoert. Een AMHS omvat ook stockers, buffers en software voor transportbesturing.

Wat is een stocker in een halfgeleiderfabriek?

Een geautomatiseerd magazijn met schappen waarin robots FOUP's opslaan en ophalen, en dat tijdelijk de FOUP's bewaart die wachten tot apparaten vrijkomen. Het is gevuld met schone lucht of stikstof en verbonden met transportsystemen zoals OHT's.

“AMHS (automated material handling system)” in de toelichting

Vragen met “AMHS (automated material handling system)” (4)

  1. Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde transportsysteem van een halfgeleiderfabriek slaat FOUP's tijdelijk op totdat ze naar de volgende processtap gaan?
  2. Welk systeem beheert in de fabriek onder meer welk lot zich in welk proces en op welke apparatuur bevindt en onder welke voorwaarden het is bewerkt, en stuurt en registreert de productiestroom?
  3. Welk systeem in een fabriek voor 300 mm-wafers transporteert FOUP's automatisch tussen apparatuur langs rails aan het plafond?
  4. Welke uitspraak over de gangbare indeling van apparatuur in een halfgeleiderfabriek is juist?

Verwante termen

FOUP OHT (overhead hoist transport) BIST (built-in self-test) Downflow EFEM FFU (fan filter unit) HEPA-filter ISO 14644-1 Mini-environment Moleculaire verontreiniging (AMC)

Naar de woordenlijst