Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welke uitspraak over de gangbare indeling van apparatuur in een halfgeleiderfabriek is juist?

  1. AAlleen de methode wordt gebruikt waarbij, zoals in een autofabriek, apparatuur in procesvolgorde op één lijn staat
  2. BEen jobshopmethode waarbij apparatuur per bay (gebied) van hetzelfde type wordt gegroepeerd en door een transportsysteem wordt verbonden
  3. CEen methode waarbij elk apparaat in een apart gebouw staat
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Een jobshopmethode waarbij apparatuur per bay (gebied) van hetzelfde type wordt gegroepeerd en door een transportsysteem wordt verbonden

Bij de productie van halfgeleiders worden depositie, lithografie, etsen enz. tientallen keren herhaald, zodat wafers dezelfde soort apparatuur herhaaldelijk bezoeken. Omdat bij opstelling op één lijn in procesvolgorde tientallen exemplaren van dezelfde apparatuur nodig zouden zijn, is de jobshop-indeling gebruikelijk, waarbij apparatuur van hetzelfde type in bays wordt gegroepeerd en met een geautomatiseerd transportsysteem wordt verbonden. Apparaten worden niet elk in een apart gebouw geplaatst.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Wat is het belangrijkste doel van het spoelen (purgen) van het binnenste van een FOUP met stikstof?
  2. Welke minienvironment-methode, gangbaar in het tijdperk van 200 mm-wafers, plaatst de cassette in een afgesloten pod die aan de apparatuur wordt overgedragen?
  3. Welke reden om in een cleanroom met downflow vloerpanelen met gaten (grating) te gebruiken is juist?
  4. Welk apparaat behandelt bij procesapparatuur die vacuüm gebruikt het afgas met schadelijke stoffen uit de reacties per apparaat?
  5. Welke voorziening wordt in halfgeleiderfabrieken geplaatst om verlies van wafers in productie door kortstondige spanningsdips of stroomuitval te voorkomen?