Qu'est-ce que AMHS (système automatisé de manutention des matériaux) ?
Terme désignant l'ensemble des équipements qui déplacent automatiquement les conteneurs de plaquettes comme les FOUP entre équipements et stockages dans une usine de semi-conducteurs, ainsi que le système de commande qui les pilote. Il se compose d'OHT, de stockeurs et d'équipements associés.
Nom japonais: AMHS(自動搬送システム)
« AMHS (système automatisé de manutention des matériaux) » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 2 thèmes, dont Salles blanches et équipements, Rendement et contrôle qualité.
Domaine: Salles blanches et équipements
Transport inter-baies et intra-baie
De nombreuses usines ont adopté une disposition en baies, chacune regroupant des équipements de même type. Dans une telle disposition, le transport inter-baies relie des baies éloignées via des stockeurs et équipements similaires, tandis que le transport intra-baie relie les équipements d'une baie entre eux et aux stockeurs. Dans les usines 200 mm, seul le transport inter-baies était souvent automatisé, et les lots étaient portés à la main à l'intérieur d'une baie. Comme chaque transfert ajoute du temps d'attente, les usines 300 mm modernes utilisent largement des OHT qui assurent les deux dans un même système et transportent les FOUP directement d'équipement à équipement.
Ce qui détermine les performances
Dans les grandes usines, des centaines de véhicules OHT ou plus circulent sur un même réseau de rails, si bien que la congestion et le choix des itinéraires influencent fortement le délai de livraison. Si un équipement s'arrête en attendant un FOUP, la capacité baisse et le temps que les plaquettes passent dans l'usine (temps de cycle) augmente. Les usines anticipent donc les demandes de transport pour envoyer les véhicules à l'avance et placent des stockages près des équipements pour réduire l'attente. Lors de la conception de l'usine, le volume de transport est simulé pour décider du tracé des rails, du nombre de véhicules et de la capacité de stockage. La redondance, pour qu'une panne locale n'arrête pas tout le système, est aussi importante.
Questions fréquentes
Que signifie AMHS ?
Automated material handling system. Dans une usine de semi-conducteurs, ce terme désigne collectivement les OHT qui transportent les FOUP, les stockeurs qui les stockent et le système de commande qui les pilote.
Quelle différence entre AMHS et OHT ?
L'AMHS est le nom de l'ensemble du système de transport et de stockage, et l'OHT est le véhicule aérien qui, au sein de ce système, transporte effectivement les FOUP. Un AMHS comprend aussi des stockeurs, des tampons et le logiciel de commande du transport.
Qu'est-ce qu'un stockeur dans une usine de semi-conducteurs ?
Un entrepôt automatisé à étagères où des robots rangent et sortent les FOUP, et qui garde temporairement ceux qui attendent qu'un équipement se libère. Il est rempli d'air propre ou d'azote et relié aux systèmes de transport comme les OHT.