Was ist AMHS (automatisiertes Materialtransportsystem)?
Sammelbezeichnung für die Anlagen, die Waferbehälter wie FOUPs in einer Halbleiterfabrik automatisch zwischen Anlagen und Lagern bewegen, und das Steuerungssystem, das sie betreibt. Es besteht aus OHTs, Stockern und zugehörigen Einrichtungen.
Japanische Bezeichnung: AMHS(自動搬送システム)
„AMHS (automatisiertes Materialtransportsystem)“ kommt in 4 Übungsfragen aus 2 Themen vor, z. B. Reinraum und Fertigungsanlagen, Ausbeute und Qualitätskontrolle.
Fachgebiet: Reinraum und Fertigungsanlagen
Bestandteile eines AMHS
AMHS steht für Automated Material Handling System und bezeichnet das gesamte System, das Waferbehälter in einer Fabrik automatisch transportiert und lagert. In einer 300-mm-Fabrik besteht es aus OHT-Fahrzeugen, die auf Deckenschienen fahren und jeden FOUP auf den Ladeport einer Anlage absenken, Stockern, also automatischen Lagern, in denen Roboter FOUPs ein- und auslagern, Puffern, die FOUPs nahe den Schienen vorübergehend aufnehmen, und Liften, die sie zwischen Stockwerken befördern. Ein Transportsteuerungssystem betreibt das Ganze, nimmt Transportaufträge vom Manufacturing Execution System (MES) entgegen und weist Fahrzeuge und Lagerplätze zu.
Warum der Transport automatisiert wird
Ein FOUP mit 25 Wafern von 300 mm wiegt etwa 8 kg, eine schwere Last, um sie den ganzen Tag zu tragen, und ein Sturz kann teure Wafer zerstören. Ein Wafer durchläuft bis zur Fertigstellung Hunderte von Prozessschritten und wechselt bei jedem die Anlage, sodass die Zahl der Transporte sehr groß ist. Die Automatisierung befördert FOUPs rund um die Uhr in gleichmäßigem Takt, lässt die Fabrik jederzeit wissen, wo sich jeder FOUP befindet, und verhindert Fehler wie die Anlieferung an die falsche Anlage. Weniger umhergehende Menschen verringern außerdem die Partikelkontamination.
Was die Leistung bestimmt
In großen Fabriken fahren Hunderte oder mehr OHT-Fahrzeuge auf einem einzigen Schienennetz, sodass Stau und Routenwahl die Lieferzeit stark beeinflussen. Steht eine Anlage still, weil sie auf einen FOUP wartet, sinkt die Kapazität, und die Zeit, die Wafer in der Fabrik verbringen (Durchlaufzeit), wächst. Fabriken sehen Transportaufträge deshalb voraus, um Fahrzeuge vorab zu disponieren, und platzieren Lager nahe den Anlagen, um Wartezeiten zu verkürzen. Bei der Fabrikplanung wird das Transportaufkommen simuliert, um Schienenführung, Fahrzeugzahl und Lagerkapazität festzulegen. Wichtig ist auch Redundanz, damit ein lokaler Ausfall nicht das ganze System stoppt.
Häufige Fragen
Wofür steht AMHS?
Für Automated Material Handling System. In einer Halbleiterfabrik bezeichnet es zusammenfassend die OHTs, die FOUPs befördern, die Stocker, die sie lagern, und das Steuerungssystem, das sie betreibt.
Was ist der Unterschied zwischen AMHS und OHT?
AMHS ist die Bezeichnung für das gesamte Transport- und Lagersystem, und OHT ist das Deckenfahrzeug darin, das die FOUPs tatsächlich befördert. Zu einem AMHS gehören außerdem Stocker, Puffer und Software zur Transportsteuerung.
Was ist ein Stocker in einer Halbleiterfabrik?
Ein automatisches Lager mit Regalen, in dem Roboter FOUPs ein- und auslagern und jene vorübergehend aufnehmen, die darauf warten, dass Anlagen frei werden. Es ist mit Reinluft oder Stickstoff gefüllt und an Transportsysteme wie OHTs angebunden.