Welke analysemethode detecteert het zwakke licht dat een defecte plek tijdens bedrijf uitzendt om de foutplek van een LSI te lokaliseren?

Antwoord: C. Emissiemicroscopie (lichtemissieanalyse)

Op plaatsen waar lekstroom loopt, en bij transistors waarin hot carriers ontstaan, wordt zeer zwak nabij-infrarood licht uitgezonden. Emissiemicroscopie detecteert dit licht met een zeer gevoelige camera en lokaliseert daarmee de foutplek op de werkende chip. Als de voorzijde door meerlaagse bedrading is afgeschermd, wordt gebruikgemaakt van de doorlaatbaarheid van silicium voor infrarood licht en wordt vanaf de gedunde achterzijde waargenomen. XRD onderzoekt kristallen en TXRF oppervlakteverontreiniging.