Messtechnik und Analytik

Welches Analyseverfahren detektiert zur Lokalisierung von Fehlerstellen in LSIs das schwache Licht, das von fehlerhaften Stellen im Betrieb ausgeht?

  1. AXRD
  2. BTXRF
  3. CEmissionsmikroskopie (Lichtemissionsanalyse)
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Antwort: C. Emissionsmikroskopie (Lichtemissionsanalyse)

Stellen mit Leckstrom und Transistoren mit heißen Ladungsträgern senden sehr schwaches Licht im nahen Infrarot aus. Die Emissionsmikroskopie lokalisiert Fehlerstellen auf dem Chip im Betrieb, indem dieses Licht mit einer hochempfindlichen Kamera erfasst wird. Ist die Vorderseite durch Mehrlagenverdrahtung verdeckt, wird von der gedünnten Rückseite beobachtet, da Silizium Infrarotlicht durchlässt. XRD untersucht Kristalle, TXRF Oberflächenverunreinigungen.

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