Quelle méthode d’analyse détecte la faible lumière émise par une zone défectueuse en fonctionnement afin de localiser les défaillances d’un LSI ?

Réponse : C. Microscopie d’émission (analyse d’émission lumineuse)

Les zones parcourues par un courant de fuite et les transistors où apparaissent des porteurs chauds émettent une très faible lumière dans le proche infrarouge. La microscopie d’émission détecte cette lumière avec une caméra très sensible pour localiser les défaillances sur une puce en fonctionnement. Lorsque la face avant est masquée par les interconnexions multicouches, on observe par la face arrière amincie, en exploitant la transparence du silicium à l’infrarouge. La XRD étudie les cristaux, la TXRF la contamination de surface.