Analysemethode waarbij röntgenstraling op een kristal valt en uit de hoek en intensiteit van de gediffracteerde straling de kristalstructuur, de roosterconstante, de rek in de laag en de kristalkwaliteit worden bepaald.
Japanse benaming: XRD(X線回折)
“XRD (röntgendiffractie)” komt voor in 6 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Metrologie en analyse, Epitaxiale groei.
Vakgebied: Metrologie en analyse
Antwoord: A. Er zijn weinig kristalkanteling, mozaïciteit en defecten en de kristalkwaliteit is goed
Een rocking curve is de intensiteit van een bepaalde diffractiepiek gemeten terwijl de hoek van het monster stapsgewijs wordt veranderd bij een vaste detectorpositie. Bij een grote spreiding in kristaloriëntatie (mozaïciteit) of veel dislocaties wordt de piek breder, dus een smallere halfwaardebreedte (FWHM) wijst op een betere kristalkwaliteit. Bij vrijwel perfect silicium bedraagt deze enkele boogseconden en bij GaN op saffier enkele honderden boogseconden; de waarde wordt ook gebruikt om de dislocatiedichtheid te schatten.
Antwoord: C. Kristalstructuur, roosterconstante en filmspanning (rek)
XRD onderzoekt kristalstructuur en roostervlakafstand met de Bragg-voorwaarde 2d·sinθ = nλ voor diffractie van röntgenstraling aan atoomvlakken van het kristal. Bij XRD met hoog oplossend vermogen kunnen uit de ligging van diffractiepieken van epitaxiale lagen zoals SiGe samenstelling en rek worden beoordeeld en uit de breedte van de pieken de kristalperfectie. Bij polykristallijne films is ook de mate van oriëntatie van de kristallen te zien. Organische vervuiling en laagweerstand zijn niet te meten.
XRD onderzoekt kristalstructuur en roostervlakafstand met de Bragg-voorwaarde 2d·sinθ = nλ voor diffractie van röntgenstraling aan atoomvlakken van het kristal.
Wat kan hoofdzakelijk worden beoordeeld met röntgendiffract…Röntgendiffractie en lichtinterferentie zijn andere methoden.
Welke uitspraak over het principe van de scanning-elektrone…XRD onderzoekt kristallen en TXRF oppervlakteverontreiniging.
Welke analysemethode detecteert het zwakke licht dat een de…Met SIMS en XRD is levensduur niet te meten.
Welke methode meet contactloos de levensduur van ladingdrag…Met de vierpuntsmethode of röntgendiffractie zijn deze elektrische eigenschappen niet te bepalen.
Welke methode beoordeelt de elektrische eigenschappen van o…Kristaloriëntatie GaN (galliumnitride) SiGe (silicium-germanium) SEM (scanning-elektronenmicroscoop) CD-SEM Meerlaagse bedrading TXRF (total reflection X-ray fluorescence) SIMS (secundaire-ionenmassaspectrometrie) Grensvlaktoestanden (interface traps) AFM (atomic force microscope)