Welke methode bepaalt de dikte en dichtheid van een dunne film uit de oscillaties in de reflectiviteit bij zeer ondiep invallende röntgenstraling?

Antwoord: B. Röntgenreflectiviteit (XRR)

Bij XRR wordt de reflectiviteit van röntgenstraling die onder een ondiepe hoek invalt gemeten terwijl de hoek wordt gevarieerd. Omdat de aan het oppervlak en aan het grensvlak van de film gereflecteerde röntgenstraling interfereert, oscilleert de reflectiviteit; uit de periode volgt de laagdikte, uit de kritische hoek waarbij totale reflectie optreedt de dichtheid van de film en uit de demping van de oscillaties de grensvlakruwheid. Omdat de meting zonder aanname van optische constanten kan, is ze geschikt voor het beoordelen van ultradunne films van enkele nm. SIMS en de vierpuntsmethode meten andere grootheden.